中国科学院上海微系统与信息技术研究所2
标题:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
描述:上海微系统所在国内率先研制成功球墨铸铁,成功解决了包钢高含氟铁矿的冶炼和稀土元素回收。六十年代中期,发展微电子和集成电路制造技术,与工业部门合作研制出国内第一块工业实用PN结隔离集成电路、ECL高速电路和国内第一块8位、16位微处理器。八十年代中期,开展微电子机械系统(MEMS)和绝缘体上硅(SOI)材料研究,居国内领先地位,并在国际上占据了重要的一席之地。突破了多功能复合传感器等关键技术,确立了
关键词:中国科学院上海微系统与信息技术研究所、微电子、绝缘体上硅、航天核心元器件、微电子机械系统中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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